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SEC-E50質(zhì)量流量控制器

簡(jiǎn)要描述：概要它是搭載有溫控閥的基本型號(hào)

  • 產(chǎn)品型號(hào)：
  • 廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商
  • 更新時(shí)間：2023-10-14
  • 訪  問(wèn)  量：966
詳情介紹

概要

它是搭載有溫控閥的基本型號(hào)。
利用小型裝置的SEC-310，可以進(jìn)行大于0.1SCCM的微小流量控制。并且，利用SEC-623可以進(jìn)行小于200SLM的大流量控制。
高精度型號(hào)：SEC-405可以進(jìn)行±0.5％F.S.的流量控制。

特征

  •  可對(duì)應(yīng)±0.5％F.S.：SEC-405(氣體種類限定)
  • 同系列產(chǎn)品，從0.1CCM至200SLM(N2)都可進(jìn)行流量控制
  • 實(shí)現(xiàn)面間距離106mm: SEC-300型式

規(guī)格

 

SEC-310
 

氣體接觸部材質(zhì)

SUS-316、氟化橡膠

閥門(mén)類型

NO: 非通電時(shí)：開(kāi)； NC: 非通電時(shí)：關(guān)閉

標(biāo)準(zhǔn)流量量程

5/10/20/50/100/200/500 SCCM

流量控制范圍

2?100％ F.S.(滿量程)

流量精度

±1.0％ F.S.(滿量程)

SEC-320
 

氣體接觸部材質(zhì)

SUS-316、氟化橡膠

閥門(mén)類型

NO: 非通電時(shí)：開(kāi)

標(biāo)準(zhǔn)流量量程

5/10/20/50/100/200/500 SCCM

流量控制范圍

2?100％ F.S.(滿量程)

流量精度

±2.0％ F.S.(滿量程)

SEC-405
 

氣體接觸部材質(zhì)

SUS-316、氟化橡膠

閥門(mén)類型

NO: 非通電時(shí)：開(kāi)

標(biāo)準(zhǔn)流量量程

10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM ：N2.Ar.H2.O2.CO2.CH4.C3H8

流量控制范圍

2?100％ F.S.(滿量程)

流量精度

±0.5％ F.S.(滿量程)

SEC-410
 

氣體接觸部材質(zhì)

SUS-316、氟化橡膠

閥門(mén)類型

NO: 非通電時(shí)：開(kāi) ；NC: 非通電時(shí)：關(guān)閉

標(biāo)準(zhǔn)流量量程

10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM

流量控制范圍

5?100％ F.S.(滿量程)

流量精度

±1.0％ F.S.(滿量程)

SEC-510
 

氣體接觸部材質(zhì)

SUS-316、氟化橡膠

閥門(mén)類型

NO: 非通電時(shí)：開(kāi) ；NC: 非通電時(shí)：關(guān)閉

標(biāo)準(zhǔn)流量量程

10/20 SLM

流量控制范圍

5?100％ F.S.(滿量程)

流量精度

±1.0％ F.S.(滿量程)

SEC-510A
 

氣體接觸部材質(zhì)

SUS-316、氟化橡膠

閥門(mén)類型

NO: 非通電時(shí)：開(kāi) ；NC: 非通電時(shí)：關(guān)閉

標(biāo)準(zhǔn)流量量程

30/50 SLM

流量控制范圍

5?100％ F.S.(滿量程)

流量精度

±1.0％ F.S.(滿量程)

SEC-520A
 

氣體接觸部材質(zhì)

SUS-316、氟化橡膠

閥門(mén)類型

NO: 非通電時(shí)：開(kāi)

標(biāo)準(zhǔn)流量量程

30/50 SLM

流量控制范圍

5?100％ F.S.(滿量程)

流量精度

±2.0％ F.S.(滿量程)

SEC-551
 

氣體接觸部材質(zhì)

SUS-316、氟化橡膠

閥門(mén)類型

NO: 非通電時(shí)：開(kāi) ；NC: 非通電時(shí)：關(guān)閉

標(biāo)準(zhǔn)流量量程

30/50/100 SLM

流量控制范圍

5?100％ F.S.(滿量程)

流量精度

±1.0％ F.S.(滿量程)

SEC-552
 

氣體接觸部材質(zhì)

SUS-316、バイトン

閥門(mén)類型

NO: 非通電時(shí)：開(kāi)

標(biāo)準(zhǔn)流量量程

30/50/100 SLM

流量控制范圍

5?100％ F.S.(滿量程)

流量精度

±2.0％ F.S.(滿量程)

SEC-610
 

氣體接觸部材質(zhì)

SUS-316、氟化橡膠

閥門(mén)類型

NO: 非通電時(shí)：開(kāi)

標(biāo)準(zhǔn)流量量程

50/100/150 SLM

流量控制范圍

10?100％ F.S.(滿量程)

流量精度

±1.0％ F.S.(滿量程)

SEC-620
 

氣體接觸部材質(zhì)

SUS-316、氟化橡膠

閥門(mén)類型

NO: 非通電時(shí)：開(kāi)

標(biāo)準(zhǔn)流量量程

50/100/150 SLM

流量控制范圍

10?100％ F.S.(滿量程)

流量精度

±2.0％ F.S.(滿量程)

SEC-623
 

氣體接觸部材質(zhì)

SUS-316、氟化橡膠

閥門(mén)類型

NO: 非通電時(shí)：開(kāi)

標(biāo)準(zhǔn)流量量程

150/200 SLM (H2:300 SLM)

流量控制范圍

10?100％ F.S.(滿量程)

流量精度

±2.0％ F.S.(滿量程)

SEC-400MK2
 

氣體接觸部材質(zhì)

SUS-316、氟化橡膠

閥門(mén)類型

NO: 非通電時(shí)：開(kāi)

標(biāo)準(zhǔn)流量量程

10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM

流量控制范圍

5?100％ F.S.(滿量程)

流量精度

±2.0％ F.S.(滿量程)

SEC-500MK2
 

氣體接觸部材質(zhì)

SUS-316、氟化橡膠

閥門(mén)類型

NO: 非通電時(shí)：開(kāi)

標(biāo)準(zhǔn)流量量程

10/20 SLM

流量控制范圍

5?100％ F.S.(滿量程)

流量精度

±2.0％ F.S.(滿量程)

SEC-400MK3
 

氣體接觸部材質(zhì)

SUS-316、氟化橡膠

閥門(mén)類型

NO: 非通電時(shí)：開(kāi)

標(biāo)準(zhǔn)流量量程

10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM ：空氣.N2.O2.Ar.H2.He

流量控制范圍

5?100％ F.S.(滿量程)

流量精度

±2.0％ F.S.(滿量程)

SEC-500MK3
 

氣體接觸部材質(zhì)

SUS-316、氟化橡膠

閥門(mén)類型

NO: 非通電時(shí)：開(kāi)

標(biāo)準(zhǔn)流量量程

10/20 SLM ：空氣.N2.O2.Ar.H2.He

流量控制范圍

5?100％ F.S.(滿量程)

流量精度

±2.0％ F.S.(滿量程)

 



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