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FC-R7810CD質(zhì)量流量控制器

簡要描述:FC-R7810系列不僅能提供高精度流量控制

  • 產(chǎn)品型號:
  • 廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
  • 更新時間:2023-10-14
  • 訪  問  量:1229
詳情介紹

FC-R7810系列不僅能提供高精度流量控制。
采用金屬材質(zhì)密封具備優(yōu)異的低泄漏特性,可適用于絕大多數(shù)氣體控制應(yīng)用。提供行業(yè)通用和AE*電氣信號可選方案,可方便對用戶使用的質(zhì)量流量控制器(MFC)進(jìn)行替換,操作簡單。

特點(diǎn):

◆高精度

◆高信賴和可靠性

◆耐腐蝕設(shè)計

◆采用金屬密封材質(zhì)

◆VCR、Swagelok互換的氣路接口

◆10SCCM-200SLM滿量程范圍

◆方便的互換性

◆高速應(yīng)答***的統(tǒng)一性,目前世界上有大約7萬只在運(yùn)行中的產(chǎn)品,內(nèi)的返修率不到0.5%,廣受客戶贊譽(yù) 

◆方便的互換性

 
技術(shù)參數(shù):
 

性能指標(biāo)

FC-R7800CD/FC-R7800D系列

 

FC-R7810CD/FC-R7810D系列

 

FC-R7820CD/FC-R7820D系列

 

滿量程范圍

 

10Sccm-5Slm

N/O:6-20slm*

N/C:6-50slm**

35-200Slm

響應(yīng)時間

滿流量的±2%范圍內(nèi),小于2秒

滿流量的±2%范圍內(nèi),小于3秒

精度

≤±1%滿量程

≤±2%滿量程

線性鍍

≤滿量程±0 5%

≤滿量程±0 5% #1

≤滿量程±1%

重復(fù)性

                          ≤滿量程±0.2%

泄漏率

                            1X10E-11 Pa.m ?/sec

控制范圍

                          滿流量的2%-5%  #2

壓差

49Kpa-275Kpa

 

69Kpa-275Kpa

98Kpa-275Kpa

147Kpa-275Kpa

 

正常工作壓

                           490Kpa

 

進(jìn)氣壓力

                           980Kpa

 

溫度范圍

 

                           5-45℃(41-113℉)

 

輸入電源

 

+15VDC±2% 25mA

-15VDC±2% 180mA

+15VDC±2% 25mA

-15VDC±2% 200mA

功率

3.1W max

3.5W max

輸入信號

0-5 VDC

輸出型號

0-5 VDC

控制閥形式

常開或常閉電磁閥

密封件

金屬密封

材質(zhì)

316L,316,PTFE,不銹鋼(氟橡膠,氯丁橡膠)

標(biāo)準(zhǔn)接口

1/4"VCR和Swagelok兼容

3/8"VCR,1/4"VCR

重量

1.0KG

2.7KG

#1滿量程流量值大于30SLM線性度≤滿量程±1%

#2滿量程流量值大于150SLM控制范圍為5%-***

#3滿量程流量值大于150SLM壓差范圍為147-296Kpa

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