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SEC-E70質(zhì)量流量計(jì)

簡(jiǎn)要描述:概要所謂質(zhì)量流量控制器是一種計(jì)測(cè)和控制流體流量的裝置

  • 產(chǎn)品型號(hào):
  • 廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
  • 更新時(shí)間:2023-10-14
  • 訪  問(wèn)  量:937
詳情介紹
 

概要

所謂質(zhì)量流量控制器是一種計(jì)測(cè)和控制流體流量的裝置。流體的流量計(jì)測(cè)通??煞譃轶w積流量和質(zhì)量流量。體積流量由于受到計(jì)測(cè)時(shí)環(huán)境溫度和壓力的影響,如需要準(zhǔn)確測(cè)定時(shí),必須對(duì)溫度和壓力進(jìn)行調(diào)整。而質(zhì)量流量計(jì)在測(cè)定流體質(zhì)量的時(shí)候,不容易受到環(huán)境溫度和壓力等外在因素的影響而能準(zhǔn)確地進(jìn)行流體測(cè)量。在必須對(duì)流量進(jìn)行精確計(jì)測(cè)和控制的領(lǐng)域,質(zhì)量流量控制器被廣泛的使用,例如半導(dǎo)體工業(yè)、太陽(yáng)能光電工業(yè)和微加工制造業(yè)等。

技術(shù)參數(shù)

 

 

型號(hào)

SEC- (質(zhì)量流量控制器)

E60

E70

E80

SEF- (質(zhì)量流量計(jì))

E60

E70

E80

適用氣體種類*1

N2、O2、Air、H2、Ar、C3H8、CH4、C4H10

N2、O2、Air、H2

氣體接觸部材質(zhì)

SUS316.氟化橡膠、磁性不銹鋼

閥門型號(hào)

非通電時(shí) 關(guān)閉

標(biāo)準(zhǔn)流量量程 (N2相應(yīng)F.S.)

50/100 SLM

200 SLM

300/500 SLM

流量控制范圍 (適于SEC系列)

5?99% F.S.

流量測(cè)量范圍 (適于SEF系列)

0?99% F.S.

響應(yīng)速度

1秒以內(nèi)(T98)

2秒以內(nèi)(T98)

流量精度

±1% F.S.

±2% F.S.

直線性

±0.5% F.S.

±1% F.S.

反復(fù)性

±0.5% F.S.

±1% F.S.

工作差壓值值(適于SEC系列)

100?300kPa(d)

200?350kPa(d)

使用壓力 (適于SEF系列)

350kPa(G)以下

耐 壓

1MPa(G)以下

外部泄漏率

1×10-7Pa?m3/s(He)以下

450kPa(G)加壓10分鐘減壓1%以內(nèi)

使用環(huán)境溫度

5?45℃(精度的確保:15?35℃)

流量設(shè)定信號(hào)

0.25?5VDC(輸入阻抗1MΩ以上)/5?99% F.S.

流量輸出信號(hào)

0?5VDC(最小負(fù)荷電阻2kΩ)

驅(qū)動(dòng)電源

+15VDC ±5% 50mA −15VDC ±5% 200mA 3.9VA

標(biāo)準(zhǔn)接頭*2

3/8SWL 類型

1/2SWL 類型

 

*1:關(guān)于記載以外的氣體種類,請(qǐng)另行咨詢協(xié)商。
*2也可以適用標(biāo)準(zhǔn)接頭以外的接頭。請(qǐng)另行咨詢協(xié)商。
※SEC-E40/E50/E40MK3/E50MK3搭載有自動(dòng)清零功能。
※入口壓力是SEC-E40/50/60/E40MK3/E50MK3:值300kPa(G);SEC-70/80:值350kPa(G)以下。
※ SCCM、SLM是表示氣體的流量單位(mL/min、L/min、at、0℃、101.3kPa)的記號(hào)。



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