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SEC-E400J質(zhì)量流量控制器
簡(jiǎn)要描述：概要作為提高生產(chǎn)的必要因素、制造設(shè)備的高性能化和小型化、低成本化等正日益受到關(guān)注
產(chǎn)品型號(hào)：- 廠(chǎng)商性質(zhì)：經(jīng)銷(xiāo)商
- 更新時(shí)間：2023-10-14
- 訪(fǎng) 問(wèn) 量：919
詳情介紹
概要
作為提高生產(chǎn)的必要因素、制造設(shè)備的高性能化和小型化、低成本化等正日益受到關(guān)注。這些要求對(duì)氣體供給系統(tǒng)，也就是被稱(chēng)為關(guān)鍵設(shè)備的質(zhì)量流量控制器來(lái)說(shuō)有很緊密的聯(lián)系。而批量使用搭載了在成本表現(xiàn)方面優(yōu)勢(shì)明顯的電磁閥的質(zhì)量流量控制器，則可*符合制程要求。
特征
- 采用金屬避風(fēng)墊圈
可對(duì)應(yīng)腐蝕性氣體
- 搭載異常報(bào)警功能
警報(bào)輸出功能為其標(biāo)準(zhǔn)搭載
規(guī)格
?SEC-E400J
| 氣體連接部材質(zhì) | SUS-316L,Teflon |
|---|---|
| 磁性不銹鋼材質(zhì)閥形式 | 非通電時(shí):閉標(biāo)準(zhǔn) |
| 流量范圍 | 5/10/20/50/100/200/500 SCCM,1/2/3/5/10 SLM |
| 流量控制范圍 | 2?100％ F.S.(全量程) |
| 流量精度 | ±1.0％ F.S.(全量程) |
?SEC-E450J
| 氣體連接部材質(zhì) | SUS-316L,Teflon |
|---|---|
| 磁性不銹鋼材質(zhì)閥形式 | 非通電時(shí):閉標(biāo)準(zhǔn) |
| 流量范圍 | 20/30 SLM |
| 流量控制范圍 | 2?100％ F.S.(全量程) |
| 流量精度 | ±1.0％ F.S.(全量程) |
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