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愛(ài)發(fā)科NRL60A/NRL90A/NRL180A干式真空泵
簡(jiǎn)要描述：愛(ài)發(fā)科NRL60A/NRL90A/NRL180A干式真空泵標(biāo)準(zhǔn)零部件采用高硬度并經(jīng)過(guò)優(yōu)異的防腐蝕特殊表面處理，降低對(duì)腐蝕性氣體排氣時(shí)泵體內(nèi)部的腐蝕程度。
產(chǎn)品型號(hào)：- 廠商性質(zhì)：經(jīng)銷(xiāo)商
- 更新時(shí)間：2023-10-14
- 訪 問(wèn) 量：1283
詳情介紹
愛(ài)發(fā)科NRL60A/NRL90A/NRL180A干式真空泵的介紹
特長(zhǎng)
NRL系列在低溫領(lǐng)域下的均熱化。除PVD工藝外，尤其適用于希望提高流量，縮短排氣時(shí)間的重要工藝腔體的排氣。
低噪音、低振動(dòng)
優(yōu)良的耐腐蝕性
標(biāo)準(zhǔn)零部件采用高硬度并經(jīng)過(guò)優(yōu)異的防腐蝕特殊表面處理，降低對(duì)腐蝕性氣體排氣時(shí)泵體內(nèi)部的腐蝕程度。
選購(gòu)件
可選購(gòu)消音器、冷卻水流量開(kāi)關(guān)、氮?dú)饬髁块_(kāi)關(guān)、泵溫傳感器。
用途
• 活性氣體（CVD、刻蝕等）。
• 排出非活性氣體（濺射鍍膜、 蒸氣鍍膜、熱處理、液晶注入等）。
• 用于產(chǎn)生粉塵工藝中的排氣（Si單晶爐等）
• 作為前級(jí)泵使用（渦輪式分子泵、機(jī)械羅茨泵的前級(jí)泵）。
• 冷凍干燥等水蒸氣排氣。
愛(ài)發(fā)科NRL60A/NRL90A/NRL180A干式真空泵的技術(shù)參數(shù)：
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