發(fā)布時(shí)間: 2023-01-13 點(diǎn)擊次數(shù): 419次
島津分子泵是利用高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子把動(dòng)量傳輸給氣體分子,使之獲得定向速度,從而被壓縮、被驅(qū)向排氣口后為前級(jí)抽走的一種真空泵。采用氣體靜承和動(dòng)密封的復(fù)合分子泵,可以做到無(wú)油,且不用前級(jí)泵直接向大氣中排氣。
島津分子泵的工作原理:
分子泵的抽氣機(jī)理與機(jī)械泵靠泵腔容積變化進(jìn)行抽氣的機(jī)理不同,利用了動(dòng)量傳遞原理,使分子定向流動(dòng)而被排出泵外,從而達(dá)到抽氣的目的。
分子泵在電機(jī)的帶動(dòng)下高速旋轉(zhuǎn),采用變頻電源驅(qū)動(dòng)電機(jī),目的是得到較高的轉(zhuǎn)速。在分子流區(qū)域內(nèi),氣體分子與高速轉(zhuǎn)到的葉片表面碰撞,動(dòng)量傳遞給氣體分子,使部分氣體分子在剛體表面的運(yùn)動(dòng)方向上,產(chǎn)生定向流動(dòng)而被排出泵外,從而達(dá)到抽氣的目的。
通常把用高速運(yùn)動(dòng)的剛體表面攜帶氣體分子,并使其按一定方向運(yùn)動(dòng)的現(xiàn)象稱為分子牽引現(xiàn)象,利用這一現(xiàn)象制成的真空泵稱為牽引分子泵(蓋德泵)。牽引分子泵的優(yōu)點(diǎn)是啟動(dòng)時(shí)間短,在分子流態(tài)下有很高的壓縮比,能抽除各種氣體和蒸氣,特別適于抽除較重的氣體。但由于牽引分子泵抽速小,密封間隙太小,工作可靠性較差,易出機(jī)械故降,而且制造困難,實(shí)際上很少應(yīng)用。后來(lái)對(duì)牽引分子泵進(jìn)行了改進(jìn),出現(xiàn)了渦輪分子泵。
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